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在真空的世界里，也有一對不離不棄的“超級情侶”。我們習慣稱(chēng)這對超級伴侶為前級真空泵和高真空泵。前級泵必須滿(mǎn)足特定的抽氣速度和極限真空，并且可以持續的無(wú)故障長(cháng)時(shí)間運行，高真空泵極限真空極高，只有分子泵才能有此能力。前級泵和分子泵相生相伴，在電子顯微鏡、質(zhì)譜以及領(lǐng)域做出了的貢獻，推動(dòng)了科學(xué)儀器行業(yè)的飛速發(fā)展。

為什么分子泵和前級泵是天作之合？分子泵需要配置前級泵, 而不是直接在大氣壓下工作. 我們都知道渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作才能顯示出它的優(yōu)越性。分子泵輸送氣體應滿(mǎn)足兩個(gè)必要條件：1渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作；2分子泵的轉子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線(xiàn)速度。具有這樣的高速度才能使氣體分子與動(dòng)葉片相碰撞后改變隨機散射的特性而作定向運動(dòng)。分子泵的轉速越高，對提高分子泵的抽速越有利；

在純粹渦輪分子泵的情況下, 由于其分子流,需要的前級真空大約為為 5～10^-2mbar。所以需要前級泵來(lái)預抽，如果不預抽的話(huà),直接啟動(dòng)分子泵, 由于形成的壓縮比太大容易把分子泵葉片損壞，這就是為什么分子泵需要前級泵的主要原因。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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隨著(zhù)真空泵使用范圍越來(lái)越廣，了解其相關(guān)參數對于之后的生產(chǎn)工作的展開(kāi)十分重要。1、抽氣速率(體積流率)：當泵裝有標準試驗罩并按規定條件工作時(shí)，從試驗罩流過(guò)的氣體流量與在試驗罩上位置測得的平衡壓力之比。簡(jiǎn)稱(chēng)泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時(shí)間內從被抽容器中抽走的氣體體積。

極限壓力(極限真空)：泵裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的比較低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過(guò)充分抽氣后所能達到的比較低的穩定的壓力。 3、起動(dòng)壓力： 泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用的壓力 4、前級壓力： 排氣壓力低于一個(gè)大氣壓力的真空泵的出口壓力。 5、比較大前級壓力： 超過(guò)了能使泵損壞的前級壓力。

比較大工作壓力：對應比較大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續工作而不惡化或損壞。 抽氣量： 流經(jīng)泵入口的氣體流量。 壓縮比： 泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。分子真空泵主要是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使氣體分子獲得定向運動(dòng)的速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子真空泵，氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅送到泵的出口。

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近日，真空推出了一款新型渦輪分子泵，便是對此交出的一份答卷。這款分子泵的壽命更長(cháng)，而且采用了該公司開(kāi)發(fā)的一項技術(shù)，使得真空設備更加耐用，振動(dòng)水平更低，噪音更小。真空的渦輪分子泵.具體來(lái)講，通過(guò)分配幾何確定的動(dòng)平衡孔和漸近的動(dòng)平衡配重法，利用激光燒蝕把多余的材料去除，如此一來(lái)，轉子的不均勻質(zhì)量分布能夠在所有點(diǎn)位逐個(gè)進(jìn)行的處理，來(lái)達到很佳的動(dòng)平衡性。

與傳統動(dòng)平衡相比，用激光去除材料要準確得多，剩余不平衡會(huì )更低。而且在這個(gè)過(guò)程中，材料特性并不會(huì )受到影響?？梢哉f(shuō)，改變了傳統的動(dòng)平衡過(guò)程，將不均勻的質(zhì)量分布降到了很低。采用傳統動(dòng)平衡（左）和采用激光燒蝕段的激光動(dòng)平衡（右）動(dòng)平衡等級對比.據了解，通過(guò)現代化的自動(dòng)平衡系統，渦輪分子泵轉子的動(dòng)平衡品質(zhì)提高了20%，從而大幅提高轉子壽命，并降低泵在運行期間的振動(dòng)和噪音水平。

值得一提的是，激光燒蝕產(chǎn)生的顆粒，在加工過(guò)程中即可抽出和過(guò)濾掉，隨后對激光平衡后的轉子進(jìn)行清潔，由于無(wú)需手動(dòng)擰緊螺絲，所以確保了表面的很高清潔度，并且也避免了平衡孔中的氣穴造成的虛漏現象。因此，用技術(shù)加持的渦輪分子泵可以滿(mǎn)足更為苛刻的工作環(huán)境要求，尤其是在需要更低振動(dòng)和靜音的應用中，該系列渦輪分子泵可以大大提升用戶(hù)體驗。

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